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中國電子行業(yè)超純水標準


2013-08-14 15:30:38   來源：皓泉水處理    點擊：
中國電子行業(yè)超純水標準
指 標 名 稱
一 級 水（EW-1）
二 級 水（EW-2）
　電阻率MΩ.CM. （25℃）
18(95‰時間)不低于17
15(95‰時間)不低于13
　　硅　　　≤μg/L
2
10
　＞1μm　微粒數(shù)
0.1
5
　細菌個數(shù)　≤個/ml
0.01
0.1
　　銅　　　≤μg/L
0.2
1
　　鋅　　　≤μg/L
0.2
1
　　鎳　　　≤μg/L
0.1
1
　　鈉　　　≤μg/L
0.5
2
　　鉀　　　≤μg/L
0.5
2
　　氯　　　≤μg/L
1
1
　硝酸根　　≤μg/L
1
1
　磷酸根　　≤μg/L
1
1
　硫酸根　　≤μg/L
1
1
　總有機碳　≤μg/L
20
100